所長致辭
砥礪前行六十載 自主創(chuàng)新鑄未來
1958年10月，為研制“兩彈一星”專用109計算機(jī)，中國科學(xué)院微電子研究所的前身、我國第一個半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠——“中國科學(xué)院109廠”成立。1986年，109廠與中科院半導(dǎo)體所和計算所有關(guān)微電子學(xué)研究部門合并，成立“中國科學(xué)院微電子中心”。隨著學(xué)科的發(fā)展，2003年9月，微電子中心正式更名為“中國科學(xué)院微電子研究所”。
109廠成立之初，面臨人才缺失、技術(shù)不足等巨大困難。在李德仲、唐生金等同志的精心組織領(lǐng)導(dǎo)下，在王守武、林蘭英、王守覺、廖德榮、劉家樹等老一輩科學(xué)家的努力下，109廠面向國家戰(zhàn)略需求，在半導(dǎo)體材料和器件的生產(chǎn)研制方面填補(bǔ)了國內(nèi)空白。1960年，研制生產(chǎn)國內(nèi)第一批鍺晶體管，為我國第一臺鍺晶體管計算機(jī)——109乙機(jī)的研制成功做出了重要貢獻(xiàn)。1964年，在國內(nèi)率先開發(fā)生產(chǎn)硅平面晶體管，為我國第一臺硅晶體管計算機(jī)、被譽(yù)為“兩彈一星”功勛計算機(jī)——109丙機(jī)的誕生做出了歷史性貢獻(xiàn)。1965年，在國內(nèi)率先研制成功集成電路，用于研發(fā)我國第一臺集成電路計算機(jī)“156”機(jī)。1966年，合作研制我國第一臺65型接觸式光刻機(jī)和超聲波鋁絲壓焊機(jī)，在全國推廣使用。1970年，合作研制遠(yuǎn)洋跟蹤測量船“遠(yuǎn)望號”中心控制151計算機(jī)。1976年，合作研制我國第一臺集成電路百萬次計算機(jī)——“013”機(jī)，突破了西方國家向我國出口百萬次計算機(jī)的限制。1980年，研發(fā)出我國第一塊16K 存儲器。1983年，合作研制我國第一臺每秒運(yùn)算千萬次計算機(jī)——757機(jī)。109廠為我國集成電路事業(yè)做出了奠基性、開拓性貢獻(xiàn)。時任中國科學(xué)院院長郭沫若贊賞說：“有了109（廠），中國就（開始）有半導(dǎo)體事業(yè)了。”
20世紀(jì)80年代，集成電路技術(shù)突飛猛進(jìn)。在吳德馨、馬俊如、夏武穎等科學(xué)家的帶領(lǐng)下，微電子中心深入推進(jìn)集成電路技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)。1986年，成功研制我國第一塊自主設(shè)計的64K存儲器。1990年，在國內(nèi)率先開發(fā)成功2微米成套CMOS工藝技術(shù)，自行設(shè)計研制成功國內(nèi)首臺反映離子刻蝕設(shè)備。1992年，開通國內(nèi)首條4英寸工藝線，具備了0.8微米成套工藝研制能力，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展做出了應(yīng)有貢獻(xiàn)。
經(jīng)過六十年的發(fā)展，微電子所已成為國內(nèi)集成電路領(lǐng)域?qū)W科方向布局最完整的綜合研究與開發(fā)機(jī)構(gòu)，研究領(lǐng)域包括微電子設(shè)計、微電子工藝與制造、微電子器件、集成電路裝備、微納加工、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)等。研究所以行業(yè)應(yīng)用、行業(yè)服務(wù)、核心產(chǎn)品和基礎(chǔ)研究為重點進(jìn)行科研布局，設(shè)有兩個基礎(chǔ)研究類中國科學(xué)院重點實驗室，4個行業(yè)服務(wù)類研發(fā)中心，6個行業(yè)應(yīng)用類研發(fā)中心，3個核心產(chǎn)品類研發(fā)中心。近年來，在集成電路先導(dǎo)技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)核心技術(shù)與應(yīng)用、高可靠器件與電路、新一代微電子器件與集成技術(shù)方面取得了一系列重大創(chuàng)新成果，攻克了22-14納米工藝和集成技術(shù)，形成了成體系的自主知識產(chǎn)權(quán)和關(guān)鍵技術(shù)；突破了智能制造、農(nóng)資物聯(lián)網(wǎng)、公共安全、車聯(lián)網(wǎng)、智能集成傳感器等物聯(lián)網(wǎng)關(guān)鍵核心技術(shù)；研發(fā)出上百款高可靠器件與電路，支撐了多項國家工程；阻變式存儲器基礎(chǔ)研究和三維集成技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。微電子所已成為中國集成電路產(chǎn)業(yè)的國家隊，引領(lǐng)中國集成電路技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展。
六十載櫛風(fēng)沐雨。三代微電子人艱苦奮斗、開拓創(chuàng)新，用心血和汗水書寫了光榮歷史、創(chuàng)造了驕人成績。值此建所60周年之際，謹(jǐn)向微電子所全體職工、研究生和離退休老同志，向在微電子所工作過、學(xué)習(xí)過的同志、同學(xué)，向長期關(guān)心支持微電子所發(fā)展的各級領(lǐng)導(dǎo)、專家學(xué)者、業(yè)界朋友致以衷心感謝！
砥礪前行六十載，自主創(chuàng)新鑄未來。在新的歷史時期，微電子所將繼續(xù)秉承“惟精惟一，求是求新”的所訓(xùn)，不忘科技報國初心，牢記科技強(qiáng)國使命，為民族的復(fù)興、人民的幸福、國家的強(qiáng)盛砥礪前行、奮斗不止。
